紫外线灯不一定会产生臭氧，臭氧的形成主要由紫外线灯的发光谱线决定，即254纳米和185纳米两条。其中254纳米是无臭氧波段紫外线，只有185纳米是有臭氧波段紫外线。空气中的氧气分子在吸收了185nm波长的紫外光后也会产生臭氧和原子氧。臭氧型紫外线灯具有强氧化作用，它不像一般的紫外线灯只沿直线传播，具有消毒无死角的优点。但超标的臭氧会对人体有伤害，所以消完毒需开窗透气。
紫外线杀菌灯产生臭氧的原因是由于波长 200nm 以下的短波长紫外线能分解O?分子，生成的 O*与O?结合产生臭氧O?。具体的反应过程如下。3O?+hv=2O?，其中hv为合适的波长能量。
紫外线是阳光中波长为10～400纳米（nm）的光线，可以分为UVA（紫外线A，波长320～400纳米，长波）、UVB（波长280～320纳米，中波）、UVC（波长100～280纳米，短波）3种。只有当紫外线的波长不大于200nm时，才能被空气中的O?吸收，从而发生反应生成O?。
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